DLTS-спектрометры

DLTS-спектрометр — аналитический прибор для исследования глубоких энергетических уровней и электрически активных дефектов в полупроводниковых материалах и структурах методом DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy).

Метод спектроскопии глубоких уровней основан на анализе переходных процессов, связанных с захватом и эмиссией носителей заряда дефектными центрами. DLTS позволяет выявлять электрически активные дефекты, исследовать их энергетические характеристики и оценивать влияние на электрофизические свойства полупроводников.

Задачи DLTS-спектроскопии

DLTS-спектрометры применяются для исследования:

• глубоких энергетических уровней в полупроводниках;
• электрически активных дефектов и примесей;
• центров захвата электронов и дырок;
• p–n-переходов и диодов Шоттки;
• эпитаксиальных и тонкоплёночных полупроводниковых структур;
• материалов и компонентов микро- и наноэлектроники.

Метод позволяет определять такие параметры, как энергия активации глубоких уровней, концентрация дефектных центров и характеристики захвата носителей заряда.

Преимущества метода DLTS

Спектроскопия глубоких уровней отличается высокой чувствительностью к электрически активным дефектам и позволяет получать количественную информацию об их свойствах.

К преимуществам метода относятся:

• обнаружение дефектов с низкой концентрацией;
• определение энергетических параметров глубоких уровней;
• исследование электронных и дырочных ловушек;
• возможность сравнения материалов и структур после различных технологических воздействий;
• применение как в фундаментальных исследованиях, так и при разработке полупроводниковых устройств.

DLTS дополняет структурные и микроскопические методы исследования материалов. Электронная микроскопия позволяет изучать морфологию и микроструктуру образца, тогда как DLTS предоставляет информацию об электрически активных дефектах, влияющих на свойства полупроводниковой структуры.

DLTS-спектрометры российского производства

В данном разделе представлено оборудование собственной разработки и производства ООО «Научные технологии и сервис».

Наши специалисты разрабатывают аналитические системы для исследования полупроводниковых материалов и структур, оказывают техническую и методическую поддержку, а также помогают подобрать конфигурацию оборудования в соответствии с задачами лаборатории.

Подробные технические характеристики, возможности измерительной системы и доступные конфигурации представлены в карточке DLTS-спектрометра.