Двулучевой электронный микроскоп Scietex FIB-SEM Y30

Scietex FIB-SEM Y30 объединяет возможности сканирующего электронного микроскопа сверхвысокого разрешения и фокусированного ионного пучка. Электронная колонна с полевым эмиссионным источником обеспечивает высококачественную визуализацию при низких напряжениях, а Ga-FIB колонна позволяет выполнять локальную обработку, травление, формирование поперечных сечений, подготовку ПЭМ-образцов и нанесение материалов методом ионно-лучевого осаждения.

Система рассчитана на работу с современными материалами сложного состава и структуры: металлами, магнитными материалами, непроводящими и зарядонакапливающими образцами, материалами, чувствительными к электронному пучку, а также объектами для микроэлектроники, материаловедения и исследований аккумуляторных материалов.

Автоматизированное программное обеспечение упрощает выполнение стандартных операций: навигацию к области интереса, подготовку сечений, нанесение защитного слоя, извлечение ПЭМ-ламелей, утонение, полировку, 3D-томографию и повторяемые сценарии анализа.

Ключевые особенности:

• Полностью автоматизированная подготовка ПЭМ-образцов;
• Ga-FIB колонна с током ионного пучка до 100 нА;
• Электронная UHR-SEM колонна со сверхвысоким разрешением;
• Низковольтная визуализация с посадочным напряжением до 50 эВ;
• Ток электронного пучка до 400 нА для задач EDS/EBSD;
• Возможность работы с металлами, магнитными, непроводящими и чувствительными к пучку материалами;
• Режим большого поля зрения для удобной навигации по крупным образцам;
• Система регистрации сигналов с SE и BSE детекторами;
• Энергетическая фильтрация для повышения контраста и детализации;
• Автоматическая подготовка поперечных сечений;
• 3D-модель предотвращения столкновений внутри камеры;
• Поддержка пользовательских сценариев, пресетов и Python-скриптов;
• Возможность сохранения рабочих параметров для повторяемых задач;
• Профессиональное ПО для управления микроскопом, обработки, измерений и архивирования изображений.

Scietex FIB-SEM Y30 применяется для:

• Подготовки ПЭМ-образцов и тонких ламелей;
• Формирования поперечных сечений для анализа внутренней структуры материала;
• Низковольтной СЭМ-визуализации с высоким поверхностным контрастом;
• Анализа морфологии, рельефа и материального контраста;
• 3D FIB-SEM томографии;
• EDS/EBSD-анализа;
• Исследования дефектов на заданных плоскостях;
• Подготовки образцов для атомно-зондовой томографии;
• Подготовки микростолбиков и структур для механических испытаний;
• Микро- и нанообработки;
• Электронно-лучевой и ионно-лучевой литографии;
• FEBID и FIBID процессов;
• Прототипирования микро- и наноструктур;
• Исследования батарейных материалов, катализаторов, тонких плёнок, MEMS-структур, полупроводниковых и композиционных материалов.

• Электронная колонна UHR-SEM с электронным источником высокой яркости типа Шоттки;
• Колонна фокусированного ионного пучка (Ga источник);
• Камера: внутренние размеры 340 мм (Ш) × 315 мм (Г);
• Активная пневмоподвеска колонны и рабочей камеры;
• Вакуумная система безамсляная;
• Моторизованный 5-осевой эвцентрический рабочий столик;
• Компьютерное управление;
• ПО для управления электронным микроскопом;
• ПО для обработки изображений;
• ПО для измерений и контроля допусков;
• ПО для архивирования изображений;
• Камерный SE-детектор Everhart-Thornley;
• Осевой In-Beam SE-детектор;
• Многофункциональный In-Beam детектор;
• Пикоамперметр с функцией сигнализации при касании/столкновении;
• ИК-камера для обзора камеры образцов.

• Наноманипулятор для lift-out операций и манипулирования образцами;
• Одноканальный модуль газовой инжекции Opti GIS-Pt с прекурсором Pt;
• SDD детектор Oxford Xplore 30 с активной площадью кристалла 30 мм;
• Детектор EBIC с ПО API 156 v2.0 — система регистрации тока, наведённого электронным пучком, с функциями управления усилителем. Программное обеспечение API 156 v2.0 включено в российский реестр программного обеспечения;
• Держатель образца с прижимным контактом;
• Синхронный детектор (Lock-in) для работы на модулированном сигнале 0-100 кГц (требуется электростатический бланкер в составе микроскопа);
• Блок смещения с функциями измерения ВАХ, компенсации постоянного тока образца;
• Детектор катодолюминесценции.