Система плазменной активации поверхности GD156R

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.

Система плазменной активации поверхности с форвакуумным насосом GD156R нашей разработки и производства — это настольный прибор, позволяющий очищать поверхность образцов с целью дальнейшего исследования методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества.

Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ

Система GD156R представляет собой универсальную установку плазменной обработки и активации поверхности и предназначена для подготовки образцов к исследованиям методами электронной микроскопии.

Плазменная очистка — это предварительная обработка поверхности перед исследованиями поверхности образцов, анализом состава вещества, нанесением фоторезиста, вакуумным напылением слоев, пайкой или микросваркой.

В процессе плазменной очистки поверхность материала подвергается химической реакции с ионизированными газами. Свободные радикалы газа взаимодействуют с загрязнением на поверхности, преобразуются в газовую фазу и далее удаляются. Такой способ позволяет достичь прецизионной очистки чувствительных поверхностей, что повышает ее адгезию.

Другой задачей применения плазменной обработки является активация поверхности с помощью плазмы. Время обработки в большинстве случаев составляет несколько минут. Качество активации может проверяется тестовыми чернилами.

Плазменная очистка металлов применяется для получения поверхности, не содержащей оксидов.

Прибор предназначен для работы с широким спектром образцов, обеспечивает их простую загрузку и выгрузку. Система полностью автоматизирована, пользователь может задать алгоритм работы, включающий стадии откачки, дегазации, настроить рабочее давление, напряжение, ток, время обработки.

1. базовый блок с управляющей электроникой;
2. магнетрон;
3. вакуумная сис
4. тема с форвакуумным насосом;
5. предметный столик Ø100 мм с вращением;
6. большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
7. сенсорный экран управления 7″;
8. программное обеспечение API156 на русском языке;
9. книга «рецептов» по обработке.

В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:

• держателем образцов под задачи;
• различной комплектацией расходных материалов (дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры, пинцеты и другое);
• предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия*;
• сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.