Система ионной полировки, травления и напыления

Система ионной полировки, травления и напыления — универсальное решение для пробоподготовки образцов в электронной микроскопии и материаловедении. Оборудование сочетает в одной системе три ключевых процесса: ионное фрезерование и полировку, травление и напыление. Такой функционал позволяет эффективно подготавливать поверхность образцов для последующего структурного и фазового анализа.

Обработка ионным пучком обеспечивает более высокое качество поверхности по сравнению с традиционными методами подготовки. Установка помогает удалять искажённый атомарный слой, возникающий после механической полировки, а также поверхностные пленки, образованные химической обработкой. Благодаря этому исследователь получает более точную информацию о реальном состоянии поверхности образца, включая межзеренную ориентацию, различение фаз и размер зерна.

Особенности:

• 10″ цветной ЖК-сенсорный экран с встроенным компьютером и системой управления, простое меню, полностью автоматическая работа
• 2 независимо управляемых ионных пушки, большая рабочая зона 25 мм
• Возможность добавления специальных газов для реактивного травления ионным пучком
• Поддержка как поперечной, так и плоской полировки, поддержка напыления платины или золота
• Дистанционное управление через компьютер или мобильный телефон

Установка подходит для обработки практически всех типов твёрдых материалов, включая сплавы, полимерные материалы, минералы, полупроводники, керамику и мультифазные образцы. Гибкость настройки параметров позволяет адаптировать систему под широкий круг исследовательских и технологических задач.

Оборудование подходит для:

• Подготовка образцов для SEM-анализа
• Выявление межзеренной ориентации
• Фазовый анализ материалов
• Исследование размера и структуры зерна
• Удаление поверхностных дефектов и пленок
• Плазменная очистка и ионная обработка поверхности

• Ионно-лучевая установка 3в1;
• Встроенный компьютер и система управления;
• 2 диагональные ионные пушки;

• Расширение до 4 ионных источников
• Конфигурация двух ионных пушек под 90°
• Полупроводниковый охлаждаемый столик(от комнатной температуры до -25 °C)
• Охлаждение жидким азотом (-150°С)
• CCD-камера
• Микроскоп с большим увеличением и регулируемым фокусом
• Устройство быстрой смены образца (до 30-60 сек)
• Поддержка реактивного травления специальными газами (ксенон)