Сканирующий электронный микроскоп SEM Scietex F30 и F30H
Сканирующий электронный микроскоп SEM Scietex F30 и F30H
Описание
Сканирующий электронный микроскоп SEM Scietex F30 и F30H обеспечивает высокое разрешение и производительность работы в том числе в аналитических приложениях благодаря использованию полностью оригинальной электронно-оптической системы собственной разработки и других интеллектуальных разработок.
Микроскоп SEM Scietex F30 и F30H достигает нанометрового разрешения промышленного стандарта, оснащен высокоскоростной мультидетекторной системой сканирования для одновременного получения изображений с сигналами SE и BSE, поддерживает множество режимов работы для применения в науках о жизни, материаловедении, анализе отказов и геологии.
Особенности SEM Scietex F30:
· Высокое разрешение, широкий диапазон изменения энергии электронов первичного пучка, сверхширокое поле зрения, обеспечивающее съемку в широком диапазоне увеличений от макро- до микромасштабов.
· Высокоскоростная мультидетекторная система сканирования и захвата изображения, поддерживающая сигналы SE и BSE, а также работу с EDS, EBSD, CL и другими аналитическими аксессуарами.
· Внутрилинзовый детектор с энергетическим фильтром вторичных электронов, высокочувствительные детекторы для качественной скоростной съемки, постобработка изображений в реальном времени включая вывод цветного изображения.
· Эффективное шумоподавление и повышение резкости изображения без потери ключевой информации.
· Оптимизированная система выравнивания пучка с полной навигацией по образцу, автоматической настройкой яркости, контраста и фокусировки.
Особенное отличие F30Н от F30
Функция замедления пучка электронов – для изучения чувствительных образцов и работы с низким ускоряющим напряжением для получения более детальной информации о поверхности материала, его топографии и морфологии.
Применение
Материаловедение – анализ структуры металлов, сплавов, композитов, керамики и полимеров.
Биология и медицина – изучение клеток, тканей, микроорганизмов, а также биосовместимых материалов.
Геология и минералогия – исследование горных пород, минералов, почв и метеоритов.
Электроника и нанотехнологии – контроль качества микросхем, нанопокрытий и микроструктур.
Металлургия и машиностроение – анализ изломов, дефектов, износа и коррозии поверхностей.
Криминалистика и судебная экспертиза – изучение следов, волокон, частиц и других микрообъектов.
Опции
В зависимости от предполагаемой области применения Сканирующий электронный микроскоп SEM Scietex F30 и F30H может быть дополнительно оснащён:
- BSE
- InLens BSE
- Система быстрой загрузки образцов (Air Lock, Sample Exchange Warehouse)
- Column built-in energy filter ExB
- Beam Gate & Electron Beam Exposure
- Large Image Stitching Software
- Particle Analysis Software
- Источник бесперебойного питания
- Термостолик
- Tensile/Compression test table
Характеристики
Разрешение F30
Разрешение F30H
0.9 нм при 30 кВ (SE),
1.4 нм при 15 кВ (BSE)
0,9 нм при 30 кВ (SE)
1,2 нм при 15 кВ (SE)
1,5 нм при 1 кВ (SE, режим BD)
Детекторы F30
Детекторы F30H
SE — детектор вторичных электронов
SE (ETD) – детектор вторичных электронов
SE (InLens) — внутрилинзовый детектор вторичных электронов
CCD – камера для наблюдения за образцами
Ускоряющее напряжение
0,02-30 кВ
Катод
Автоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное поле зрения
6 мм
Увеличение
1x~ 2 000 000раз
Ток зондирования
1 Па ~ 40 На
Время выдержки
20 нс
Система двойного объективирования объектива
Магнитная линза объектива и электростатическая линза объектива, адаптируемая к магнитному образцу
Система отклонения луча
Система двойного отклонения луча
Электромагнитная и статическая гибридная система отклонения луча
Диафрагма
(10 мкм, 30 мкм, 70 мкм, 100 мкм, 150 мкм, 220 мкм)* 2 комплекта (1 для резервного копирования) с электроприводом перемещения
Порты камеры
10 портов
Размер камеры
Ширина 370 мм, Высота 330 мм, Глубина 344 мм
Вакуумный насос, 2 ионных насоса, 1 Турбомолекулярный насос, 1 Механический накопитель, без масла
Вакуумная система, вакуум в пистолете
2×10-7 Па
Вакуум в камере
6×10-4 Па
Автоматическая регулировка по 5 осям
X: 130 мм, Y: 130 мм, Z: 60 мм, T: -10° ~+ 70°, R: 360 °
Максимальная нагрузка
500 г
Камера
Оптическая, цветная, CCD, ИК-ПЗС высокой четкости
Датчики SEInlens SE
Компьютерная рабочая станция
Объем памяти
16 ГБ
Жесткий диск 512 ГБ
24-дюймовый монитор
Система
Win 10
Панель управления и джойстик
Вывод изображения
16 Кб x 16 Кб
Изображения в форматах
TIFF, JPG, PNG, BMP
Программный автофокус
Автоматический Стигматизатор
Автоматический контраст яркости