Комбинированная система напыления металлов и углерода C156RES
Комбинированная система напыления металлов и углерода C156RES
Описание
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS нашей разработки и производства — это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.
Другие модели серии C156:
Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE
Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS
Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE
Применение
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть углерод, золото, платина, палладий, углерод и др.
Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.
Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.
Спецификация
- базовый блок с управляющей электроникой;
- магнетрон и испаритель с держателем углеродного стержня;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение на русском языке;
- книга «рецептов» напыления;
- стартовый набор расходных материалов.
Опции
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов и резистивного сенсора;
- держателем образцов под задачи;
- вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса;
- различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы и резистивные сенсоры, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия (дополнительная опция под заказ);
- наклонным предметным столиком;
- сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.
Характеристики
Испаритель
Материалы напыления
Металлы и углерод (стержень или шнур)
Тип испарителя
Магнетрон постоянного тока и блок резистивного импульсного термического испарения
Максимальный ток
Ток разряда магнетрона — 100 мА;
Ток импульса испарителя — 90 А
Вакуумная камера
Материал вакуумной камеры
Кварцевое прозрачное бесцветное стекло
Внутренний диаметр вакуумной камеры
156 мм
Высота вакуумной камеры
150 мм
Вакуумная система
Полностью автоматическая, форвакуумный насос
Производительность форвакуумного насоса
19,8 м3/ч
Предметный столик
Диаметр предметного столика для образцов
100 мм
Максимальная скорость вращения столика
20 оборотов в мин.
Наклон и изменение высоты предметного столика
Да (дополнительная опция)
Держатели образцов
Стандартный держатель, держатель под задачи (дополнительная опция)
Программное обеспечение
Управление процессом напыления
Графический сенсорный экран 7”
Измерение давления (встроенный датчик вакуума)
Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар
Измерение толщины покрытия (дополнительная опция)
Для магнетрона — кварцевые весы (дополнительная опция)
Для испарителя — резистивный сенсор
Сохранение и загрузка пользовательских рецептов
>1000 шт
Общие
Габариты и вес (без дополнительных опций)
450х300х400 мм, 22 кг