Система напыления углерода C156RE
Система напыления углерода C156RE
Описание
Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.
Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE нашей разработки и производства — это настольный прибор, позволяющий наносить углерод на поверхность образца методом термического резистивного импульсного испарения с целью исследования образцов методом электронной микроскопии и получения изображения высокого качества.
Другие модели серии C156:
Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS
Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS
Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE
Применение
Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ
Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.
Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.
Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.
Спецификация
- базовый блок с управляющей электроникой;
- углеродный испаритель;
- вакуумная система с форвакуумным насосом;
- предметный столик Ø100 мм с вращением;
- большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
- сенсорный экран управления 7″;
- программное обеспечение на русском языке;
- книга «рецептов» напыления;
- стартовый набор расходных материалов.
Опции
В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:
- измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов;
- держателем образцов под задачи;
- вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса;
- различной комплектацией расходных материалов (углеродные шнуры/стержни, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
- предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия (дополнительная опция под заказ);
- сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.
Характеристики
Испаритель
Материалы напыления
Углерод (Стержень, Шнур (дополнительная опция))
Тип испарителя
Резистивный, токовый, импульсный
Максимальный ток
Импульса испарителя — 90 А
Вакуумная камера
Материал вакуумной камеры
Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло
Внутренний диаметр вакуумной камеры
156 мм
Высота вакуумной камеры
150 мм
Диаметр столика для образцов
100 мм
Вакуумная система
Полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный насосы (дополнительная опция)
Производительность форвакуумного насоса
19,8 м3/ч
Производительность турбомолекулярного насоса (дополнительная опция)
90 л/с
Предметный столик
Максимальная скорость вращения столика
20 оборотов в мин.
Держатели образцов
Стандартный держатель, держатель под задачи (дополнительная опция)
Программное обеспечение
Управление процессом напыления
Графический сенсорный экран 7”
Измерение давления (встроенный датчик вакуума)
Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
Измерение толщины покрытия
Кварцевые весы (дополнительная опция)
Сохранение и загрузка пользов. рецептов
>1000 шт
Общие
Габариты и вес (без дополнительных опций)
450х300х400 мм, 22 кг