Scietex EBIC System: Прецизионный анализ электрических свойств полупроводников

Система Scietex EBIC — это высокотехнологичное решение для метода регистрации тока, наведенного электронным лучем (Electron Beam Induced Current, EBIC). Она служит незаменимым связующим звеном между структурным и электрическим анализом полупроводниковых материалов.

Система позволяет проводить высокоточный анализ внутренних электрических полей, скорости рекомбинации и длины диффузии неосновных носителей заряда, обеспечивая исследователям данные, недоступные при обычном электронно-зондовом анализе.

Ключевые преимущества Scietex EBIC System:

• Широкий диапазон измеряемых токов. Прецизионный токовый усилитель обеспечивает регистрацию сигналов в широком диапазоне — от пикоамперных токов до миллиамперного уровня. Это позволяет работать с различными типами полупроводниковых образцов и выбирать оптимальный диапазон измерений в зависимости от величины EBIC-сигнала.
• Дистанционное управление параметрами измерения. Интегрированная система управления и программное обеспечение API156 позволяют дистанционно переключать диапазоны усиления и управлять напряжением смещения полностью контролируя процесс измерения. Автоматизация операций упрощает проведение серийных измерений и повышает воспроизводимость экспериментальных условий.
• Интеграция со сканирующим электронным микроскопом. Scietex EBIC System предназначена для интеграции в измерительный тракт сканирующего электронного микроскопа. Специализированный выход обеспечивает передачу EBIC-сигнала в систему регистрации СЭМ и его синхронизацию с разверткой электронного пучка. Это позволяет формировать пространственную карту индуцированного тока и непосредственно сопоставлять её с электронно-микроскопическим изображением исследуемой области.
• Оцифровка и обработка сигнала. Встроенная система сбора данных обеспечивает оцифровку измеряемого сигнала и его последующую обработку. Это позволяет регистрировать локальные изменения EBIC-сигнала, связанные с неоднородностью электрических свойств и наличием дефектов в полупроводниковой структуре.

Scietex EBIC System предназначена для исследований и технологического контроля в микроэлектронике, полупроводниковой промышленности и материаловедении.

• Полупроводниковые и наноструктуры. Исследование локальных электрических свойств, распределения носителей заряда и электрически активных неоднородностей.
• Фотовольтаика и оптоэлектроника. Характеризация солнечных элементов, фотодетекторов, светодиодов и других полупроводниковых приборов.
• Исследование дефектов кристаллической структуры. Выявление электрически активных дефектов, дислокаций и областей повышенной рекомбинации.
• Реверс-инжиниринг. Исследование пространственного распределения электрически активных областей полупроводниковых структур.
• Анализ отказов (Failure Analysis). Локализация дефектных областей в интегральных схемах, сенсорах, памяти, силовых и других полупроводниковых приборах.
• Исследование p–n-переходов. Анализ положения, однородности и особенностей электрически активных областей перехода.