info@scietex.ru +7 499 911 90 01

Система напыления металла C156RS

Современная российская установка для пробоподготовки образцов перед исследованием в электронном микроскопе. Наносит тонкие металлические плёнки (золото, серебро, платина и др.) методом магнетронного распыления, устраняя скопление заряда на образце и повышая качество изображений. Оснащена форвакуумным насосом, идеальна для распыления драгоценных металлов.

 

Описание

Мы собрали технологии последних лет, учли опыт наших друзей — пользователей электронных микроскопов и создали установки, которые отвечают современным требованиям подготовки образцов.

Система напыления металлов с форвакуумным насосом C156RS нашей разработки и производства — это настольный прибор, позволяющий наносить тонкие пленки металлов (Au, Ag, Pt, Cr и др.) на поверхность образца методом магнетронного распыления с целью исследования методом электронной микроскопии и получения изображений высокого качества.

Другие модели серии C156:

Система напыления углерода с форвакуумным насосом C156RE

Система напыления металлов с турбомолекулярным насосом C156TS

Система напыления углерода с турбомолекулярным насосом C156TE

Применение

Пробоподготовка образцов к исследованиям методами ЭМ

Финальным шагом в подготовке образцов для исследований методами электронной микроскопии является нанесение покрытия из проводящих материалов. Этот шаг необходим в первую очередь для того, чтобы избежать скопления заряда на образце в процессе исследования, который существенно снижает качество получаемого изображения. Напыляемыми материалами в числе прочих могут быть золото, платина, палладий, углерод и др.

Золотое и платиновое напыления в большинстве случаев используются для исследований биологических образцов в высоком разрешении, в то время как углеродное покрытие более применимо для пробоподготовки твердых материалов, таких как металлы или минералы.

Техники покрытия также могут быть различны: нанесение тонких пленок металлов на поверхность образца методом магнетронного распыления, а также углерод методом термического резистивного импульсного испарения.

Спецификация

  1. базовый блок с управляющей электроникой;
  2. магнетрон;
  3. вакуумная система с форвакуумным насосом;
  4. предметный столик Ø100 мм с вращением;
  5. большая камера Ø156х150 мм из боросиликатного стекла;
  6. сенсорный экран управления 7″;
  7. программное обеспечение на русском языке;
  8. книга «рецептов» напыления;
  9. стартовый набор расходных материалов.

Опции

В зависимости от предполагаемой области применения, система напыления может быть дополнительно оснащена:

  • измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов;
  • держателем образцов под задачи;
  • вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса;
  • различной комплектацией расходных материалов (металлические мишени, кварцевые кристаллы, дополнительный набор уплотнителей, набор для чистки камеры);
  • предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия (дополнительная опция под заказ);
  • сменной камерой Ø156х150 мм из боросиликатного стекла.

Характеристики

Испаритель

Материалы напыления

Металлы

Тип испарителя

Магнетрон постоянного тока

Максимальный ток

Разряда — 100 мА

Вакуумная камера

Материал вакуумной камеры

Боросиликатное, прозрачное бесцветное стекло

Внутренний диаметр вакуумной камеры

156 мм

Высота вакуумной камеры

150 мм

Диаметр столика для образцов

100 мм

Вакуумная система

Полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный (дополнительная опция) насосы

Производительность форвакуумного насоса

19,8 м3

Производительность турбомолекулярного насоса (дополнительная опция)

90 л/с

Предметный столик

Максимальная скорость вращения столика

20 оборотов в мин.

Держатели образцов

Стандартный держатель, держатель под задачи (дополнительная опция)

Программное обеспечение

Управление процессом напыления

Графический сенсорный экран 7”

Измерение давления (встроенный датчик вакуума)

Диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)

Измерение толщины покрытия (дополнительная опция)

Кварцевые весы (дополнительная опция)

​Сохранение и загрузка пользовательских рецептов

>1000 шт

Общие

Габариты и вес (без дополнительных опций)

450х300х400 мм, 22 кг