ФИЦ КазНЦ РАН ИОФХ им. А.Е. Арбузова

Наша команда успешно завершила поставку и ввод в эксплуатацию установки нанесения металлических покрытий C156RS с интегрированным измерителем толщины напыляемых покрытий.

Установка C156RS станет ключевым инструментом в создании передовых газочувствительных сенсоров. С её помощью ученые ИОФХ РАН будут формировать сложные, разветвленные системы микроскопических электродов на поверхности диэлектрических подложек. Именно такая структура «электроды-диэлектрик» служит основой для высокочувствительных сенсорных элементов, способных детектировать различные газы с минимальной концентрацией.